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簡要描述:高精度臺階儀ET4000系列理想的高性能通微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000M多功能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000A多目的?多功能的全自動二次元?三次元微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000AK對于大尺寸也能對應(yīng)的全自動微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000L可對應(yīng)12英寸全行程連續(xù)測定全自動微細(xì)形狀測定機(jī) ET4300
產(chǎn)品型號:KOSAKA - ET4000
廠商性質(zhì):代理商
產(chǎn)品資料:
更新時(shí)間:2026-03-24
訪 問 量: 5077產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
探針測量是通過監(jiān)測精密探針劃過薄膜表面的偏移測量薄膜厚度和粗糙度,常常是不透明薄膜如金屬薄膜的其中一種測量方法。
KOSAKA 臺階儀(探針臺)具有以下特點(diǎn):
二維/三維表面粗度解析及臺階測定,可實(shí)現(xiàn)高精度、高辨識能力及*的安全性。
用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細(xì)形狀臺階/粗度測定另外也可利用微小測定力來對應(yīng)軟質(zhì)樣品表面測定。
具備載物臺旋轉(zhuǎn)功能,便于定位下針位置。
高精度 • 高穩(wěn)定性 • 功能超群。
FPD 基板 • 硅片 • 硬盤等
微細(xì)形狀、段差、粗糙度等測量。
KOSAKA ET4000系列臺階儀提供多型號選擇,滿足從研發(fā)到量產(chǎn)的多種測量需求:ET4000M適用于高精度基礎(chǔ)測量,ET4000A實(shí)現(xiàn)全自動操作,ET4000AK支持二維/三維自動掃描與表面形貌重建,ET4000L可應(yīng)對大尺寸FPD基板,ET4300則專為12英寸晶圓全行程連續(xù)測定設(shè)計(jì)。
全系列垂直分辨率可達(dá)≤0.1 nm,臺階高度重復(fù)性優(yōu)于5 Å,探針力可低至μN級,適用于光刻膠、柔性薄膜等軟質(zhì)材料。水平掃描范圍與載物臺尺寸根據(jù)型號靈活配置,支持自動多點(diǎn)測量、Mapping輸出及SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的分析軟件。
在服務(wù)方面,我們提供探針耗材供應(yīng)、定期校準(zhǔn)、技術(shù)培訓(xùn)及快速售后響應(yīng),并可依據(jù)您的樣品與應(yīng)用場景,提供詳細(xì)技術(shù)規(guī)格書、樣品實(shí)測或在線演示支持,歡迎咨詢了解。


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